關(guān)于精密測量

夜闌臥聽 · 發(fā)表于 2015-5-17 17:41:59

求助，有兩個相同的薄片，間隔約1米，同一水平高度，互相平行，每個薄片上有多條細(xì)縫，細(xì)縫寬度約30μm，相鄰細(xì)縫間隔約1mm。現(xiàn)在需要檢測這兩個薄片上細(xì)縫的重合度，（檢查兩個薄片上的細(xì)縫是否對齊）。請問哪里能夠做這種檢測，或者需要什么設(shè)備？

樵薪 · 發(fā)表于 2015-5-17 18:05:33

一定要用到光的干涉原理。

beautiday · 發(fā)表于 2015-5-17 18:06:35

三坐標(biāo)？

龍游大海 · 發(fā)表于 2015-5-17 18:22:07

不知道你考慮過CCD沒有？

凸輪設(shè)計與加工 · 發(fā)表于 2015-5-17 18:34:52

精密測量的事情還是去找計量局的問問

LIAOYAO · 發(fā)表于 2015-5-17 18:53:13

兩個相同有多條細(xì)縫的薄片，間隔約1米，要檢測這兩個薄片上細(xì)縫的重合度。
可用的方式不是很多，如樓上說的三坐標(biāo)或光的干涉原理，至于CCD則是外行人的選擇。

比較簡便是用經(jīng)緯儀，機(jī)械行業(yè)或用激光校準(zhǔn)儀。

fmdd · 發(fā)表于 2015-5-17 22:48:50

激光準(zhǔn)直儀

xiaoson0216 · 發(fā)表于 2015-5-18 16:06:09

LIAOYAO 發(fā)表于 2015-5-17 18:53
8 x% B* Q4 q! \% u- j兩個相同有多條細(xì)縫的薄片，間隔約1米，要檢測這兩個薄片上細(xì)縫的重合度。
0 @% T( A" o! a8 F6 H7 g8 s( g$ T可用的方式不是很多，如樓上說的 ...

光柵尺

baikenor · 發(fā)表于 2015-5-18 18:47:50

肯定是光學(xué)方法搞定了

夜闌臥聽 · 發(fā)表于 2015-5-18 20:04:50

fmdd 發(fā)表于 2015-5-17 22:48
. f- s$ B2 O& ]! y& }激光準(zhǔn)直儀

激光準(zhǔn)直儀的激光束至少有1mm吧，精度能滿足要求嗎？

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關(guān)于精密測量

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