關于精密測量

夜闌臥聽

樵薪 發表于 2015-5-17 18:05
/ K! j+ N; ]% a* i1 @4 s# \* m一定要用到光的干涉原理。

0 R  N& ~# @* c6 V5 p有詳細的方案嗎？

fmdd

夜闌臥聽 發表于 2015-5-18 20:04
激光準直儀的激光束至少有1mm吧，精度能滿足要求嗎？

" w! z7 s, ]1 m8 T% i$ o. c3 X用透鏡組或者狹縫調節光束直徑

無痕葉

情況你描述的不太清楚啊？ （檢查兩個薄片上的細縫是否對齊）是個什么概念？ X,Y方向尺寸一致（在極小誤差內）？你的檢測精度是多少？um級？？？  對于這種大尺寸的，要達到um級別，只有機器視覺了，好的成像方案和高分辨率的相機組合。當然 成本還是挺高的。

無痕葉

你的薄片的尺寸？，縫隙尺寸？，這個很重要，    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高。

zdlsjl

CCD

夜闌臥聽

無痕葉 發表于 2015-5-19 09:37
情況你描述的不太清楚啊？ （檢查兩個薄片上的細縫是否對齊）是個什么概念？ X,Y方向尺寸一致（在極小誤差內 ...

每個薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細縫。想要的結果是從一個薄片向另一個薄片投影，這兩個薄片能夠重合。誤差必須在5μm以內

夜闌臥聽

無痕葉 發表于 2015-5-19 09:43
你的薄片的尺寸？，縫隙尺寸？，這個很重要，    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高。

每個薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細縫。想要的結果是從一個薄片向另一個薄片投影，這兩個薄片能夠重合。誤差必須在5μm以內

夜闌臥聽

各位繼續討論啊，我的問題還沒解決
; G0 v8 `4 [( g, g5 f0 R+ v% H

無痕葉

你這個的確是um級的檢測精度， 誤差控制在5um的話，最小分辨率就是1um的概念，我們傾向于用高一個數量級的分辨率作為以檢測基準，從而保證最終的檢測精度，目前我們在做一個0.5um級別的檢測。
4 G( _- j- o& z" E+ P) ~; N' l7 e當然，還不清楚你的最終結果是用來做什么？ 是用來控制尺寸合格嗎？ 對于你這種需求，我們檢測上來講一般是要設定標準模板，然后設置偏差參數，進行模板比對，只要成像上能滿足精度，算法都是很成熟的，至于相機，鏡頭，光源這些要好好的選型。

PS: 我猜測你的產品可能是跟光有關的東西。如果是商業化，上規模的產品，可以私聊。

夜闌臥聽

無痕葉 發表于 2015-5-27 11:25
你這個的確是um級的檢測精度， 誤差控制在5um的話，最小分辨率就是1um的概念，我們傾向于用高一個數量級的分 ...

您在北京嗎？
, \, |+ O8 j; C7 ~4 A) O8 n- I