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CVD鑽石薄膜材料,中國人搞的

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1#
發表于 2007-3-16 20:00:32 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式

2 w; z) p/ P3 H' C. S

6 \3 z4 H$ s; V# I6 ]6 p) }3 r- r- D+ W& M1 e' u" x- W4 N+ x9 C% T2 F' o2 {5 W- |2 `' B8 I( L7 @# t4 F* f: M- t5 [3 G% m; a2 Z$ Q! v+ C' s2 C" o0 x$ {5 ~* j6 J$ b! Z& S0 L( b- ^, \" b4 j- y. a9 ^7 c0 |3 e" u" J! |! e/ I2 {6 h& j: `. X# V# f! A7 [ s9 }4 y# [* z+ W; S: g I! [5 U+ g. P- F* Z, \* v$ a# y/ j1 ~% P5 q5 e) V2 U9 s9 @ Y7 q8 f* `; G& U! Y/ H. _! w: e) N u: Y" P5 Y) J& U6 Q7 F+ `3 d; s# o& z) p3 x, [- u" f6 B0 V+ U% W' V/ K# w* ^( {( p- F4 F- J$ T- q/ d: U; _) m0 \- f5 O9 J4 Q* a- X3 J. s6 W, Q: T; B: i( |. G0 B1 Z# ]6 e1 r C% e6 X. {$ y* Z* R8 r" M8 z* u5 ]# o. s7 z% p1 C: P: d) L/ Q( r1 l5 W# t+ Y2 ]1 l# ?2 x. T2 l* {8 L# p' X$ y% t8 b4 ]4 J! o/ ?! C2 y0 W3 y( Q7 S
3 J& Z, I' B6 d

X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv30mAstep 0.02 deg.speed 4 deg. / min.fficeffice" />

2 ?- [1 X: f9 J4 H

 or 1 deg. / min.)

9 u0 G; s( ^# m% N5 W$ O1 ?( s

  ◎晶體結構

+ U0 h2 P# j; W, A9 w. u' g* T

  Cubic

6 S1 }) j z% a& ~! h; P% Y- c

  ◎空間群

+ `9 w6 T9 {( T7 w. F

  Fd–ffice:smarttags" />3m

4 p. P( C9 T' p- ~* J8 R6 o! S

  ◎晶格參數(R.T)

9 j) Y9 r( T1 ?6 b, ?: a, h1 p

  (A) 3.570

7 N2 L, l3 h3 A9 P% ]

  ◎密度(g/cm3)

7 P- W8 e4 ^* M( y+ z

  3.508

9 I- n2 g% t* ?8 F" ]3 J

  ◎晶面(111)

7 G0 l$ i& X c, e# Q, z

  202

( q) S, ~& O$ L6 V

粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )

& |6 q, g# }* {; ~0 P

◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )

4 J+ e* H% X& ^7 l: ~# d6 [

總面積 / 底長86.39 nm霧面,1.052 nm亮面。

7 g5 _2 H, b6 v% `

◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )

% `" F- w, A4 {1 x# R

104.8 nm霧面,1.321 nm亮面。

/ x [5 E- G" }

Rp 250.4 nm霧面,2.592 nm亮面,Rv 189.1 nm霧面,6.156 nm亮面。

4 q: \; m( t3 S* |) R2 Z9 H

◎高低差異值為 8 nm 亮面。

5 z) N' q/ @6 b% q' J

 

4 G4 [" c& E+ K" k% T+ d/ i

 

" {: P I- s0 B3 O/ T% M

 

u, Y- Y3 g2 C3 F6 e

 

4 ~' b( R; I. E6 G! n

 

% r8 m7 a- _9 s7 n# }, D( C7 v: c) q

 

2 P5 s, v" I6 `2 S

 

6 c- x9 j- U2 L' Q

 

. h: b, ?2 M+ q$ @4 B/ ]5 R

 

7 d6 a9 v' s4 p

 

1 t+ \+ W3 d( g& ^- i Q

 

% M0 }! S; C+ @! G" U; D/ k

 

( w6 O4 v0 M) ?5 B) Q; A

 

1 n5 \/ U9 } B* z# b8 e! ?

 

8 z2 a# t& K+ D: K

圖片:

7 q7 y. Q7 f5 M& \* `

顆粒顯微分析一

2 p& A# P2 j" n& N

 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

( I. `/ ]) T7 t! M0 m) ^7 h

顆粒顯微分析二

# G5 b2 U0 S$ r; I

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

! Z# q8 r+ H, ~4 N

顆粒顯微分析三

9 D$ ?) |5 v8 B1 Z: d" {1 j

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

3 O% k/ X: v6 F _4 _1 A

顆粒顯微分析四

7 _% v" G4 v t3 ?" ` k

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

- S3 ?) s: U# y3 G/ |6 [, x8 K

顆粒顯微分析五

# Q9 E, R: ?7 _' B

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

9 S" M+ C6 \5 C) R0 y2 ^7 j5 b

顆粒顯微分析六

! N% x$ r7 r/ n: {

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

1 {1 P0 T! O% F8 z

顆粒顯微分析七

: g. r+ G0 X: U( E; R

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

& `, Y% n+ a3 i& l+ [

 

2 i1 l8 _7 \! p" y

      

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2#
 樓主| 發表于 2007-3-16 20:10:58 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

補充:
) @2 s, T! d1 Z) N# w% d* [! {這是完全由中國人研發並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料% K) D# y# o  G+ k
日本人做到2吋!!中國人做到4吋: X6 W9 I: i$ }# n
圖一是鑽石膜晶片拋光品質
% @2 F( Q9 s; u- x" s$ T圖二是拋光與未拋光之比較
% h4 `0 e1 Y7 {3 ?  ]) s圖三至圖七是電子顯微鏡照片
3#
發表于 2007-3-16 20:25:53 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

呵呵,希望中國的各行各業都能像這樣超過日本人~~~~
4#
 樓主| 發表于 2007-3-20 23:50:30 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

為啥沒人頂??不懂材料特性??
  J# g  o1 Z  K1 G8 q* y3 n- H我再補充一下!!!! }$ \9 n9 I) }+ D
鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,熱傳導率1300~2100W/mK(銅397),比熱1.81J/cm3K(銅3.4),熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)
6 w# k) N& F0 m( T其散熱及不沾粘性是世界公認- a- j4 z* y& H# m1 Z2 U$ P
在電子應用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片9 o: y* ]9 N7 h$ y/ Y8 z
在機械行業可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料% @* a# V9 q0 t) k6 k* F; a: }
我的QQ是4731374046 u. ?, o; Q) I, r6 \
歡迎大家一起討論
5#
發表于 2007-3-21 09:40:11 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

不懂不懂,請教:這種鉆石薄膜是柔性的嗎?可以做密封件嗎?可以成型嗎?是否有買?價格是否很貴?謝謝。
6#
 樓主| 發表于 2007-3-21 13:17:02 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

原帖由 滴水天 發表' Q* T2 F1 l" {( M' O) [/ d" i/ d 不懂不懂,請教:這種鉆石薄膜是柔性的嗎?可以做密封件嗎?可以成型嗎?是否有買?價格是否很貴?謝謝。

" Y h; k, i' C

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼,可替代所有超硬材料,現規格是四吋

; _& u; V1 X1 q0 I6 B/ {4 k

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

* a: K2 f) l9 T- z$ m* Y) G& A+ Q

QQ: 473137404

7#
發表于 2007-3-21 14:31:38 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

想了解下:使用什么設備(哪國的)來制造的?
8#
 樓主| 發表于 2007-3-21 15:06:55 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

中國人自行開發的CVD設備

9#
發表于 2007-3-21 15:22:17 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

只知VCD,CVD?液晶面板。。。?
10#
 樓主| 發表于 2007-3-21 15:39:24 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

fficeffice" />化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition縮寫 CVD)

4 _( J- W; m) R8 A; K

ffice:word" />化學氣相沉積是製造微電子元件時,被用來沉積出特定薄膜(film)的技術,所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導體、或半導體。

; v8 Q' D6 U' u- p6 _6 g

 

: f2 G# L# L+ P/ u& g- S

 

0 s! }6 T% g# y2 b( p. w: k, s

 

1 B- s7 x7 L. f+ Z/ O

物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition縮寫 PVD)

0 S, a% C% r1 Q" S. I$ Y0 i

物理氣相沉積應用方式與化學氣相沉積相似,主要有三種製程:蒸鍍(Evaporation Deposition)、離子鍍(Ion Plating)、濺鍍(Sputtering Deposition)及衍生性濺鍍。

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