CVD鑽石薄膜材料，中國人搞的

jamesliu8029

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B1 {$ `1 l, c# ~% u$ _0 g! d; Q+ f# e7 D" ~) E0 K ?) h% U4 D z) t, |4 I0 ^5 j! k& ?3 P$ t9 H- _9 _/ a" v& i) g# i0 s8 N* e' N4 W+ L- w M# U! b( ?' N q, d% k% K& Z8 b" M `/ { k+ {. o) \2 W* D3 q3 p; `/ z4 T; _: ^4 ?* P+ B9 N4 P7 v0 H F1 T: u! U& y" n+ w/ G/ g" T6 Z& Y% F: u" w7 h$ e) z7 n7 L3 V6 i: z$ I% l, X0 H! b/ R, ^. |9 r8 t. Y) y) t' c3 Y5 R! e4 z% i" l$ o% I$ i2 q! S6 K2 F3 ]/ ]/ k$ C

X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv，30mA，step 0.02 deg.，speed 4 deg. / min.fficeffice" /> 1 g* i* v( d5 Q  or 1 deg. / min.)
9 G% ^# T e" Q5 v5 M3 a   ◎晶體結構	Cubic
◎空間群	. P( H2 L5 K |/ d& W, S2 Y; d   Fd–ffice:smarttags" />3m
◎晶格參數(R.T)	(A) 3.570
◎密度(g/cm3)	3.508
- S( f- [3 M) ?- ]4 Y/ N& l   ◎晶面(111)	202
粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )
◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )		& }2 y+ g- t( H* ~5 y) V* K: H 總面積 / 底長86.39 nm霧面，1.052 nm亮面。
1 ~. x0 {/ X6 X% S, |6 n ◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )		104.8 nm霧面，1.321 nm亮面。
◎Rp 250.4 nm霧面，2.592 nm亮面，Rv 189.1 nm霧面，6.156 nm亮面。
( U1 c# ^5 x: R3 n' I$ C; ~ ◎高低差異值為 8 nm 亮面。

 

 

4 o4 e1 t6 |# i; Y

 

1 T1 |8 \1 z1 g; \/ r

 

 

 

 

, I, i) R4 d- D+ l

 

 

( d4 _2 V* f8 [( N7 s9 a# M! D

 

 

 

& b' C3 b5 |4 @/ D: x! Q

 

 

9 v* T' k0 [) ^& ]- K

圖片:

顆粒顯微分析一

 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

" v5 Z/ W ~/ Y8 e# P/ m4 V) t2 [

顆粒顯微分析二

1 H8 R# t. l+ [1 I" b0 u9 M3 z. a

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

' [# C7 \2 |! Y

顆粒顯微分析三

3 I- U( H1 o) O/ L8 |( y

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

' L' U. g! Q- K

顆粒顯微分析四

L1 j2 K2 t' T

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

顆粒顯微分析五

" j4 ^1 E1 b" a

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

8 q. s* G8 X6 h/ A& Y# F

顆粒顯微分析六

5 G! B6 J5 K! Y: A$ o0 g+ Z

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

* b( @: b6 Y1 b4 C8 N

顆粒顯微分析七

1 A) m+ O- b: K/ y: d' l& @/ r% E5 n4 v

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

: {" F/ w+ x3 [5 W0 e" p M

 

      

jamesliu8029

補充:
2 K, \" i/ c2 ~/ n這是完全由中國人研發並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料
日本人做到2吋!!中國人做到4吋
% a/ I6 H2 C7 P! n$ B/ s1 c圖一是鑽石膜晶片拋光品質
圖二是拋光與未拋光之比較
  d5 z* D. w/ b+ g+ t+ L# b8 C圖三至圖七是電子顯微鏡照片

深南大道

呵呵，希望中國的各行各業都能像這樣超過日本人~~~~

jamesliu8029

為啥沒人頂??不懂材料特性??
: _7 o" v# j1 _" s我再補充一下!!!
! j( [1 f6 `$ M鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上，熱傳導率1300~2100W/mK(銅397)，比熱1.81J/cm3K(銅3.4)，熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)
* w) C" F: d9 }2 @: X9 ^( H; y" A其散熱及不沾粘性是世界公認
在電子應用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片
. K7 e: [8 H/ `1 l  u" O在機械行業可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料
1 N9 m9 ~1 }; N7 R我的QQ是473137404
! F5 b3 I+ f9 M9 a1 o' s歡迎大家一起討論

lwm789

不懂不懂，請教：這種鉆石薄膜是柔性的嗎？可以做密封件嗎？可以成型嗎？是否有買？價格是否很貴？謝謝。

jamesliu8029

原帖由 滴水天 發表 不懂不懂，請教：這種鉆石薄膜是柔性的嗎？可以做密封件嗎？可以成型嗎？是否有買？價格是否很貴？謝謝。

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼，可替代所有超硬材料，現規格是四吋

3 }: ]. R Y. b) [& x1 L- V

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

5 Z% c' [7 ~6 }

QQ: 473137404

海山

想了解下：使用什么設備（哪國的）來制造的？

jamesliu8029

中國人自行開發的CVD設備

cmx

只知VCD，CVD？液晶面板。。。？

jamesliu8029

fficeffice" />化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition縮寫 CVD)

ffice:word" />化學氣相沉積是製造微電子元件時，被用來沉積出特定薄膜(film)的技術，所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導體、或半導體。

% ~( e) I/ U: q/ ^ y+ J- Y) J

 

3 g2 Y: m: Y( H

 

: K- C# X# D$ h( \

 

物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition縮寫 PVD)

5 i9 D* h2 D+ r9 W% M

物理氣相沉積應用方式與化學氣相沉積相似，主要有三種製程：蒸鍍（Evaporation Deposition）、離子鍍（Ion Plating）、濺鍍（Sputtering Deposition）及衍生性濺鍍。