SEMI 文件

伏道俊

那個大俠有這樣的資料？搜索不到

· SEMI standard compliance to relevant AGT, AGV, PGV, AIV operations, access and integration standards – E81, E84, E87, E98, E101, E109

· SEMI S2 & S8 for safety and ergonomics

· SEMI E10-96 for Standard for definition and measurement of equipment reliability, availability, and maintainability

遠祥

這是標準，還是技術要求？

伏道俊

遠祥 發表于 2019-7-13 08:31
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未來第一站

某種通訊標準？

伏道俊

未來第一站 發表于 2019-7-13 16:19
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國際半導體產業協會，
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