石墨烯試制氣體傳感器，可檢測(cè)出7ppb的NO2

寂靜天花板

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氣體傳感器的結(jié)構(gòu)概要（圖像：IEDM）
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富士通開發(fā)出了采用石墨烯的半導(dǎo)體氣體傳感器。將在半導(dǎo)體元件及工藝技術(shù)相關(guān)國(guó)際會(huì)議“IEDM 2016”（12月3〜7日、舊金山）上就其詳細(xì)情況發(fā)表演講（演講序號(hào)：18.2）。該傳感器的特點(diǎn)是靈敏度較高，選擇性較大。
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5 j2 j) W  T* h" y8 Q試制的氣體傳感器將普通的MOSFET柵極電極換了成了石墨烯。這樣一來(lái)，NH3和NO2吸附到石墨烯上時(shí)，MOSFET的漏極電流就會(huì)出現(xiàn)變化。檢測(cè)到NO2時(shí)，MOSFET的漏極電流會(huì)減少，檢測(cè)到NH3時(shí)，MOSFET的漏極電流會(huì)增加。

& Z$ @4 i* I+ F通過檢測(cè)這種漏極電流的變化，在室溫下，可檢測(cè)到7ppb（1ppb為十億分之一）的NO2和420ppb的NH3。不過，該傳感器對(duì)SO2、H2S和乙醛基本無(wú)反應(yīng)。傳感器的靈敏度可以調(diào)節(jié)。