關于精密測量

夜闌臥聽

樵薪 發表于 2015-5-17 18:05
  Q3 x( J$ I+ K" o! N" Q一定要用到光的干涉原理。

5 j$ z6 h& d! i. R2 A/ ]有詳細的方案嗎？

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夜闌臥聽 發表于 2015-5-18 20:04
激光準直儀的激光束至少有1mm吧，精度能滿足要求嗎？

. ^9 R. m) {1 w% z  y0 {用透鏡組或者狹縫調節光束直徑
$ k! x$ y  G; _/ h, ]& p

無痕葉

情況你描述的不太清楚啊？ （檢查兩個薄片上的細縫是否對齊）是個什么概念？ X,Y方向尺寸一致（在極小誤差內）？你的檢測精度是多少？um級？？？  對于這種大尺寸的，要達到um級別，只有機器視覺了，好的成像方案和高分辨率的相機組合。當然 成本還是挺高的。

無痕葉

0 N, M; T& c) \* f0 u2 M你的薄片的尺寸？，縫隙尺寸？，這個很重要，    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高。

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CCD

夜闌臥聽

無痕葉 發表于 2015-5-19 09:37
情況你描述的不太清楚??？ （檢查兩個薄片上的細縫是否對齊）是個什么概念？ X,Y方向尺寸一致（在極小誤差內 ...

3 e. K, s% l2 S. c. S/ `每個薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細縫。想要的結果是從一個薄片向另一個薄片投影，這兩個薄片能夠重合。誤差必須在5μm以內

夜闌臥聽

無痕葉 發表于 2015-5-19 09:43
你的薄片的尺寸？，縫隙尺寸？，這個很重要，    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高。

每個薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細縫。想要的結果是從一個薄片向另一個薄片投影，這兩個薄片能夠重合。誤差必須在5μm以內
  @9 G* C/ c) }7 o' N- p+ e0 k; g: q1 ~

夜闌臥聽

各位繼續討論啊，我的問題還沒解決
6 g2 d1 U' _& i3 W0 D

無痕葉

: l- ^( `+ z  ]) W) X# r
6 M; m: |. E" Y# r& }你這個的確是um級的檢測精度， 誤差控制在5um的話，最小分辨率就是1um的概念，我們傾向于用高一個數量級的分辨率作為以檢測基準，從而保證最終的檢測精度，目前我們在做一個0.5um級別的檢測。
當然，還不清楚你的最終結果是用來做什么？ 是用來控制尺寸合格嗎？ 對于你這種需求，我們檢測上來講一般是要設定標準模板，然后設置偏差參數，進行模板比對，只要成像上能滿足精度，算法都是很成熟的，至于相機，鏡頭，光源這些要好好的選型。
3 Y, z6 k4 H' z& I
PS: 我猜測你的產品可能是跟光有關的東西。如果是商業化，上規模的產品，可以私聊。

夜闌臥聽

無痕葉 發表于 2015-5-27 11:25
你這個的確是um級的檢測精度， 誤差控制在5um的話，最小分辨率就是1um的概念，我們傾向于用高一個數量級的分 ...

) }& q- _7 D$ o+ i$ c; j您在北京嗎？
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