一個用于半導體行業的清洗方案，社友幫我看看可行嗎

丹楓911 · 發表于 2014-5-25 21:15:39

一個用于半導體行業的清洗方案，用來清洗晶圓片，用高壓水清洗，伺服電機帶動晶圓片旋轉，1000多轉每分鐘，晶圓片真空吸附，大家看看主軸旋轉這個結構怎么樣，基準板是焊接到機架上的，打算焊接后再加工一刀。

迷茫的維修 · 發表于 2014-5-25 21:19:26

沒看清，感覺類似立車的主軸
你參考一下
再有就是，你想得到什么樣的精度
選什么樣的軸承
端跳，經跳
需要考慮什么工況，盤子會不會飄？
純屬瞎猜

走路empty · 發表于 2014-5-25 23:04:42

藍寶石？
可以參考涂膠機清洗結構

亂試佳人 · 發表于 2014-5-26 08:31:06

我看錯了，我以為你要清洗這個行業呢！

八點半 · 發表于 2014-5-26 10:47:32

就一個普通轉臺就行啊，也不需要太大的精度吧！

丹楓911 · 發表于 2014-5-26 22:54:48

八點半發表于 2014-5-26 10:47
就一個普通轉臺就行啊，也不需要太大的精度吧！

精度要求不高，主要動平衡要好，還有真空吸附要效果好

沉睡的紅楓葉 · 發表于 2014-5-27 22:14:50

值得學習

desa2002 · 發表于 2014-5-28 08:29:51

學習

我很愛機械設計 · 發表于 2014-5-28 09:21:24

路過學習～

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