了解靶材的朋友進(jìn)來(lái)聊聊把

jayrain · 發(fā)表于 2012-9-13 18:23:33

不知發(fā)這里合適不咯，對(duì)這一塊確實(shí)是小白，和朋友聊他說(shuō)國(guó)內(nèi)的靶材不行。請(qǐng)了解靶材的朋友隨便聊聊，行業(yè)情況、制造工藝、造好靶材的難度在哪里？

changkongceyi · 發(fā)表于 2012-9-25 09:13:40

靶材的雜質(zhì)元素不好控制....

jayrain · 發(fā)表于 2012-9-25 20:52:26

changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-25 09:13 + F) p4 ~2 {/ T" ]% L7 b. R" d
靶材的雜質(zhì)元素不好控制....

這個(gè) 有所聽(tīng)說(shuō)，象雜質(zhì)元素，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不

changkongceyi · 發(fā)表于 2012-9-26 08:19:03

jayrain 發(fā)表于 2012-9-25 20:52 ' ~9 M$ F: v* _- b5 M+ J
這個(gè) 有所聽(tīng)說(shuō)，象雜質(zhì)元素，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不

肯定會(huì)有影響，靶材氣孔內(nèi)氣體參與濺射，那鍍制的膜就有化合物成分，跟要求濺射的膜成分不一樣，與基材的附著力也就有區(qū)別了，純度肯定也就降下來(lái)了

jayrain · 發(fā)表于 2012-9-26 11:03:48

changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-26 08:19 ! ]" I2 w" o; b; q% j5 I
肯定會(huì)有影響，靶材氣孔內(nèi)氣體參與濺射，那鍍制的膜就有化合物成分，跟要求濺射的膜成分不一樣，與基材的 ...

前輩做哪塊的？對(duì)靶材制造工藝這塊有沒(méi)有合適的書(shū)籍或手冊(cè)，或者掃盲性質(zhì)的也行。我現(xiàn)在對(duì)這個(gè)只有個(gè)大概粗略輪廓。

changkongceyi · 發(fā)表于 2012-9-26 16:03:54

{:soso_e127:}不敢當(dāng)，我接觸磁控濺射沒(méi)多久，靶材說(shuō)白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬），純度其實(shí)就是冶煉跟加工過(guò)程中雜質(zhì)元素的控制，個(gè)人理論書(shū)籍看看材料的就行，可以在社區(qū)材料論壇多晃蕩晃蕩，他們才是真的前輩跟高手

jayrain · 發(fā)表于 2012-9-27 08:55:23

changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-26 16:03
. {5 P# ]' u; j3 y* f* V& a* Q不敢當(dāng)，我接觸磁控濺射沒(méi)多久，靶材說(shuō)白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬），純度其實(shí)就是冶 ...

嗯，謝謝了。得看看。沒(méi)搞過(guò)材料，感覺(jué)水還蠻深納。

changkongceyi · 發(fā)表于 2012-9-27 09:47:54

jayrain 發(fā)表于 2012-9-27 08:55
& S0 ]; j Y C* [2 n- }嗯，謝謝了。得看看。沒(méi)搞過(guò)材料，感覺(jué)水還蠻深納。

呵呵，那就從鐵碳合金開(kāi)始吧，看完這個(gè)就知道鐵靶的雜質(zhì)元素、金相組織；然后就可以進(jìn)一步思考：如何從工藝上提高靶材的純度（影響因素會(huì)很多，想想就明白為啥國(guó)產(chǎn)靶材不如進(jìn)口的了,這當(dāng)然也是整個(gè)國(guó)產(chǎn)材料的現(xiàn)狀....)

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