ICP光譜儀高頻發生器的原理和維修

江邊鳥

高頻電源是電感耦合等離子體發射光譜儀的重要組成部分。由于高頻電源處于高壓、高
頻、大功率的工作狀態，因此出現故障的幾率較高。本文介紹美國LEEMAN公司生產的PLAS—
MA—sPEc顧序直讀電感耦合等離子體發射光譜儀的高頻電源原理和故障分析檢修實例，供
同行參考。