求助：哪種機構可實現μ級精度調節？？？

andy1216

各位達人:
" J# o% D  H4 K- n! C, l    小弟想請教一下，我現在要做一個設備，要求在某一方向調節時精度在μ級，常用的絲杠和線軌無法實現，請教各位前輩這方面的寶貴經驗，不甚感激！！！！
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古林lily

這個問題問的有點籠統，絲杠和線軌也有μ級的啊！關鍵是檢測系統，采用全閉環的檢測系統。也可以用雙齒輪齒條機構

動靜之機

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您要求總的工作行程是多大呢？ 進給時的負載有多大呢？
5 C% l3 d. y, @3 p/ W5 R! W5 h# d

andy1216

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" b; s1 ^1 U$ ^你好lily，謝謝你的回復，是這樣的，我再詳細一點說明情況，目前我想用純機械結構來控制調節精度，從而使一個部件在垂直方向運動，精度控制在μ級，您說的雙齒輪齒條是什么結構（例如哪種設備上有應用），謝謝！！

andy1216

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8 E4 ?+ E% g6 z- {- }3 P  w! P# E您好，我想要的簡單理解就是類似于X軸滑臺的東西，我部件裝在上面可以實現μ級精度調節，現在要求行程無所謂大小，負載在100kg左右，這種只是單純的機械控制，其他的方式您有所了解嗎?

螺旋線

參考精密磨床的進給機構。
國產的MG，進給當量是0.2微米。

andy1216

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  T" V4 l1 i/ Y* L9 o謝謝您的回復，您說的MG是？

螺旋線

MG是就是高精度磨床，比如MG1320，MG1412。