中國自產(chǎn)的光刻機(jī)是什么精度的

軍師不信邪 · 發(fā)表于 2024-10-16 15:50:56

聽說中國自產(chǎn)光刻機(jī)了，中國自產(chǎn)的光刻機(jī)是什么精度的？

cangzhoumj · 發(fā)表于 2024-10-16 16:06:47

都會有的

盧Tiger · 發(fā)表于 2024-10-16 16:11:23

聽說是14納米

不是高級工程師 · 發(fā)表于 2024-10-16 16:12:25

成熟產(chǎn)品14納米，7納米也產(chǎn)，良品率低。

HaloSmart · 發(fā)表于 2024-10-16 16:12:59

規(guī)模化的穩(wěn)定在28nm吧

軍師不信邪 · 發(fā)表于 2024-10-16 16:21:17

挺想換手機(jī)的喜歡華為但華為太貴，性價比低我有玩游戲的習(xí)慣

來自何方 · 發(fā)表于 2024-10-16 16:39:06

找歐皇做一百億個總有一個傳說

前景錢 · 發(fā)表于 2024-10-16 16:57:34

前兩年那個HW的7納是哪里生產(chǎn)的？

鳥與魚 · 發(fā)表于 2024-10-16 17:05:20

目前的狀態(tài)是分辨率65nm，意味著有機(jī)會能刻出65nm芯片，不計(jì)代價多重曝光的話，或許還能努力夠到28nm芯片

學(xué)者11 · 發(fā)表于 2024-10-16 17:06:32

。在《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024版）》中提到了國產(chǎn)光刻機(jī)的一些參數(shù)：光源波長為193納米，分辨率為65納米，套刻精度達(dá)到8納米或以下。這表明該光刻機(jī)能夠用于65納米及以上工藝節(jié)點(diǎn)的集成電路制造

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