請教：微米級的龍門滾珠絲杠傳動如何檢測和校正？

共產可期

背景：目前需要做一個龍門結構的設備，利用伺服電機+THK研磨滾珠絲杠+THK直線導軌傳動，運動尺寸XY分別為1米x1米左右。需要保證兩根X軸的平行度、X和Y的垂直度。對X軸雙驅而言，運動負載90KG左右。項目要求運動的重復精度需要達到微米級，運動速度達到300mm/s。（直線電機由于成本和空間的原因，被直接否決了。）
需求：不知道有沒有什么高精度的檢測和校正系統，需要怎么設計？有了伺服電機，所以光柵尺定位也被否決了。一開始考慮用千分表慢慢打表，但因為跨度很大，安裝的工裝可能會變形。激光測距也沒有使用過。有沒有大神指點指點啊？比如什么書籍推薦、供應商推薦、方法推薦之類的都行

丹楓911

最高精度等級的大理石平臺，最高等級的絲杠導軌，分辨率最高的光柵尺，高分辨率的西門子伺服電機，剛性聯軸器，高水平鉗工，所有這些都是必需的條件，但是也未必能做到微米精度，你這個雙驅更不現實，增加了同步控制難度，最好單驅。
你們這個微米精度是誰提出來的？這么高精度

共產可期

丹楓911 發表于 2022-9-29 16:30
最高精度等級的大理石平臺，最高等級的絲杠導軌，分辨率最高的光柵尺，高分辨率的西門子伺服電機，剛性聯軸 ...

光柵尺已經被控制同事給排除了。精度是參考的友商樣冊。

jijie2012

驗證重復性的方法可以使用千分表試試，但是這個也是虛的不是準確的，目前比較好的驗證方法就是激光干涉儀驗證。這里要說明一下真要達到微米級重復精度要求的企業必定會上更高的儀器設備做驗證。樓主這個方案精度要求肯定需要用到全閉環反饋尺，要不就是只是提出要求實際未必是這個要求，順便給樓主介紹一下磁柵尺，重復精度1μm加我   VX   13116719459

受不了了

這精度，社區里估計就沒幾個人接觸過

giveyousese

是什么設備要求微米級，光刻機嗎

大白小白

進來看如何實現um級

共產可期

giveyousese 發表于 2022-9-29 17:24
是什么設備要求微米級，光刻機嗎

X光三維重建

共產可期

受不了了 發表于 2022-9-29 17:13
這精度，社區里估計就沒幾個人接觸過

那請問通用的檢測方法資料有推薦的嗎？

風之鯤

光柵尺不就是用在這種狀況下的嗎，是電氣控制人員搞不定還是咋回事，直接就否決了？微米有點夸張了，這跟做個加工中心一樣了