超精密加工

camvinh

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我們研究室做超精密加工研究，機床加工精度達到1μm以下，表面粗糙度5-10nm，一刀就出鏡面。有興趣的朋友，可以交流交流。

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qq707459754

清華？ 牛掰

leyfa7@126.com

用的什么刀具？
: h( R; M# `+ O) P粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
最長試驗工件是多少？
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camvinh

leyfa7@126.com 發表于 2017-10-10 10:01
用的什么刀具？
3 f4 @/ f& I5 D( E  E6 @7 \5 P粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
) z& o# p, Y- G最長試驗工件是多少？

用天然金剛石刀具，粗糙度能達到5-10nm，精度<1μm

喀秋莎88

大理石床身，看起來高端啊。

camvinh

leyfa7@126.com 發表于 2017-10-10 10:01
用的什么刀具？
粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
/ F3 F0 n9 {2 s6 h最長試驗工件是多少？

最長150mm

喀秋莎88

千島2000轉手動卡盤？

camvinh

喀秋莎88 發表于 2017-10-10 10:08
+ q+ {1 P+ v! Z; T* \3 U  e千島2000轉手動卡盤？

: F7 w$ ]6 f+ e& t0 ^是的

﹏ˋ仰望

看著很牛啊

dengxiangxi

超精密切削加工
主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用經過精細研磨的單晶金剛石車刀進行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、表面高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，最高精度可達0.1微米，表面粗糙度為Rz0.05微米。
超精密特種加工
加工精度以納米，甚至最終以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，切削加工方法已不能適應，需要借助特種加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的結合能，從而去除工件表面的部分原子間的附著、結合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。這些方法的特點是對表面層物質去除或添加的量可以作極細微的控制。但是要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設備和精確的控制系統，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。