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光伏電池硅片的生產過程主要如下:
; \; H5 g* Z% j' y一次清洗,即擴散前清洗。主要通過NaOH.HF,HCL等對硅片進行腐蝕處理,完成去損傷層、制絨,去硅酸鈉,去金屬離子等工藝。
6 c$ K+ w) T$ t6 H" U擴散。在高溫石英爐管內對硅片進行二次清洗前處理。 " ^1 A2 l9 f0 B$ a& f
周邊刻蝕。在工藝室內的一定條件下是硅片的電壓達到允許值。
$ n; E3 j8 F7 |8 N2 Q二次清洗,即擴散后清洗。主要完成去磷硅玻璃、漂洗、噴淋、慢拉、烘干等工藝要求。
8 v, E6 X/ W" OPECVD。在真空和高溫條件下,對硅片去除水分和空氣后鍍膜。
% @ i- E4 X9 e4 N( `絲網印刷。對背電極進行印刷、烘干。
& L1 m; c5 {( m* j! o燒結或固化。
* T: C3 Z6 U, R測試。 1 B6 K% V0 P. j0 B7 d/ j; o
以上工序基本完成了電池硅片的處理過程,再經過焊接接線,組合裝配等配套過程后,電池就可應用。 1 p1 D' S% X$ f- b. }9 c
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