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前沿科技之測量納米級尺寸的超精密尺子

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發表于 2010-12-28 16:31:47 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
新華網東京12月21日電 日本關西學院大學一個研究團隊20日宣布,他們研發出一種超精密尺子,可用于測量納米級別的尺寸。
, v, C1 s2 x2 _- s+ W( b這個團隊來自關西學院大學理工學系。他們研制的這種尺子以硬度僅次于鉆石的碳化硅為主要材料。碳化硅質地堅硬,很難加工,研究人員為此專門開發出一種新的加工技術。他們把碳化硅放入超真空環境中加熱到約2000攝氏度,再對其表面進行切削。
( @- t2 k. Z; M( I' x6 R采用這一加工技術,研究人員成功使碳化硅材料表面形成了階梯狀構造,階梯的每級“臺階”為0.5納米,相當于尺子的一格刻度。據介紹,研究人員還能把“臺階”的高度做成0.76納米和1納米。/ v. J; `1 ^* Y# j: C& k5 w
; c- D& S, X9 ]) S( _1 J6 M1 K+ R
研究人員表示,這種超精密尺子可廣泛應用于超精密儀器、計算機中央處理器、大規模集成電路等諸多涉及納米技術的領域。新型尺子的耐腐蝕性也比傳統的硅制精密尺子更勝一籌。
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