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Mahr和Zygo表面粗糙度,探索結果相差巨大!

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1#
發表于 2010-12-4 02:39:29 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
我用便攜式Mahr輪廓儀測得的表面粗糙度和用Zygo 7100 Series 測得的表面粗粗度差的非常多(用的Ra-附件里打錯了)。 初步分析了一下Zygo實測的一指定面積上的粗糙度,Mahr是測的一條直線上的粗糙度。不過有細微差別是可以接受的,現在差的非常大(附件)~
+ ~) X: b. ]7 h/ a! ]3 C& A7 S會不會是因為Mahr輪廓儀的截至長度的影響?
. d- `* ]0 a0 i, rPS Mahr剛剛矯正過,沒問題~
7 R. k2 E% i2 n% ]6 I6 h  G' q0 Z* H! D, e; \  [! }
請教高手原因~( F$ \6 m) p' E2 o
2 n. M& H# J+ L/ V* N
. |; t: H5 T, [4 r0 J" T$ ^

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2#
發表于 2018-8-11 17:32:59 | 只看該作者
頂起來,樓主明白了嗎
3#
發表于 2018-8-13 11:10:24 | 只看該作者
我又來賺威望啦!!
4#
發表于 2018-9-17 23:08:52 | 只看該作者

$ I% t0 Z" ]: u  S: f9 g, ?+ x我又來賺威望啦!!
5#
發表于 2020-3-6 13:39:08 | 只看該作者
儀器不準吧
6#
發表于 2020-5-19 13:17:23 | 只看該作者
ZYGO也可以拉取線上的粗糙度的吧
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