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樓主: 小袁好累

真空泄露?真空腔體

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11#
 樓主| 發表于 2024-11-19 15:06:35 | 只看該作者
游離縉云 發表于 2024-7-22 16:26
內壁有沒有拋光,焊接是內焊嗎,有沒有死角儲存有空氣?

長方體結構的腔室,內表面鋁合金材質和304不銹鋼都電解拋光過,鋁合金電解之前還做了陽極氧化,不清楚這兩個表處會不會反應,出現問題

點評

真空零件做陽極氧化不是很合適吧,陽極氧化形成的氧化膜如果沒有做封閉,微小孔隙可能存有氣體。個人看法。  發表于 2025-5-16 15:46
12#
 樓主| 發表于 2024-11-19 15:07:29 | 只看該作者

150度烘烤1小時過
13#
 樓主| 發表于 2025-5-16 13:47:09 | 只看該作者
gunianyisheng 發表于 2024-7-16 13:28
有沒有可能真空內部虛漏

您好,腔體內部沒有其他零件,是空腔體,內表面均采用電解拋光處理
14#
 樓主| 發表于 2025-5-16 13:49:03 | 只看該作者

烘烤過,200℃2小時烘烤脫氣
15#
發表于 2025-5-19 10:23:55 | 只看該作者
幾個月過去了,你們找到根本原因了嗎?
16#
發表于 2025-7-1 14:33:32 | 只看該作者
鋁合金電解之前還做了陽極氧化,這個有問題,我這邊做的腔室和真空門均采用304的,電解拋光,BG值達到5.0E-9Pa.m3/s,要是不計成本的話,最好是316L
17#
發表于 2025-7-1 14:39:42 | 只看該作者
大佬,解決了嗎,最后到底是啥問題啊
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