定位精度0.1μm以內的運動機構

原始人的錘子

尹志春 發表于 2023-10-17 16:52
不說做，你能測量出直徑300的圓的，真圓度嗎，不說加工，深圳所有的加工廠，有一家算一家，哪家有能力測 ...

老師，請教下。你們直線電機和驅動器，還有光柵用什么品牌？
另外您在定位0.1微米以上的精度，電機整定時間能做到多少？

2902007034

hitiger 發表于 2023-10-17 12:13
請問氣浮導軌是什么？淘寶沒收到。

氣浮導軌精度很高的，導軌上面好像是微小的氣孔，這一套xy軸氣浮臺，估計成品大概在20w-30w左右國產

喂我袋鹽

ytzhanggj007 發表于 2023-10-17 14:08
就算這個導軌是磁懸浮的，丁點阻力也沒有，這個精度也不是由導軌決定的，而是看驅動機構的精度。不知道你這 ...

先問lz預算。

原始人的錘子

2902007034 發表于 2023-10-17 17:37
氣浮導軌精度很高的，導軌上面好像是微小的氣孔，這一套xy軸氣浮臺，估計成品大概在20w-30w左右國產

國產有沒有推薦品牌？

原始人的錘子

喂我袋鹽 發表于 2023-10-17 17:40
先問lz預算。

單機臺設備售價接近一千萬。成本目前評估能夠覆蓋。

beta_ling

原始人的錘子 發表于 2023-10-17 19:07
單機臺設備售價接近一千萬。成本目前評估能夠覆蓋。

這么高價值的設備, 可以上氣浮平臺, 宏運動+微運動+激光干涉測距, 控制好振動, 100nm沒問題. 參考光刻機結構

mhfx2020

原始人的錘子 發表于 2023-10-17 17:19
500㎜

蘇大維格，可以問問

2902007034

原始人的錘子 發表于 2023-10-17 19:06
國產有沒有推薦品牌？

地心科技，用著還可以

Dreaming___snai

尹志春 發表于 2023-10-17 16:26
直線電機有精度？光柵你能買到精度高于0.02的？

上家公司做過三坐標，直線電機+光柵尺+氣浮導軌還得配軟件參數補償，是可以達到微米級的，不過對環境要求特別高，包括振動噪聲以及溫濕度

原始人的錘子

beta_ling 發表于 2023-10-17 23:18
這么高價值的設備, 可以上氣浮平臺, 宏運動+微運動+激光干涉測距, 控制好振動, 100nm沒問題. 參考光刻機 ...

請教下，現在有激光干涉儀，但是用在組裝和測試時候。這玩意還能在線工作？