由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不可能適用于所有的工作壓力范圍,只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。 5 u" F1 O$ O' L# ^" S. ?2 k5 g z p
任何真空泵,在工作期間除了抽氣作用,總是伴隨著出現一些破壞抽氣的效應。例如,氣體被壓縮后要反擴散、分子被吸附后還會脫附等,這些現象稱為氣體的返流。只有在抽氣作用強于返流時,泵才能有效地工作。因此每種泵都有自己的有效運用壓力范圍及固有特點。設計、制造及運用各種真空泵都是以加強抽氣作用、抑制返流為目的的。0 P& I5 Q0 L5 i- u% o; E- {# d3 M
% t6 y3 x# w5 g+ Q2 e2 L* u3 G常用真空泵的類型及其應用范圍
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