超精密機(jī)械設(shè)備設(shè)計(jì)與開發(fā)

養(yǎng)豬東籬下

文不對題

帕肉賽斯

怒砍一分

skyll

( s& _, x7 L! Y# d" O  G2 l6 B- o" g怒刷一分

喂我袋鹽

lz來點(diǎn)干貨，怎樣的超精密

寒寒thunder

怒刷一貼？？？

xfxywzy

目前的精密單方向平臺，已經(jīng)可以做到納米等級的進(jìn)給（1nm，100mm行程）。可能只有很少的行業(yè)會用到，價格也比較昂貴（10W RMB）。其中納米等級的控制目前的難點(diǎn)在于驅(qū)動器，必須使用超高分辨率的驅(qū)動控制模塊來控制。
6 `2 y0 G& N0 S2 z; [: B現(xiàn)在有一個樣品正在研究，品牌PI，可以去他們的官網(wǎng)看看，有余等級限制發(fā)不了鏈接，可以直接搜Physik Instrument. 有很多超精密控制的模組。

xfxywzy

發(fā)不了圖片，具體的結(jié)構(gòu)初步來看是需要2-3級調(diào)節(jié)。
, ]5 c# b9 _! k第一等級是X-Y的粗調(diào)節(jié)，精度在±2um之內(nèi)就行，第二等級調(diào)節(jié)就是PZT壓電陶瓷調(diào)節(jié)，精度可以做到進(jìn)給0.1nm,行程15um.
7 U% v% L$ W' N
6 `1 `: A& Z( P  _! G; p8 Z系統(tǒng)的空氣主軸的性能也需要密切關(guān)注，因?yàn)榈瑴y試不僅僅有精度跳動要求（跳動越小越好 50nm以內(nèi)），對軸也有速度控制要求（0.005%）。目前合適的供應(yīng)商也在尋找中。

喂我袋鹽

xfxywzy 發(fā)表于 2023-3-9 10:36
9 L, M' G; s- U. N發(fā)不了圖片，具體的結(jié)構(gòu)初步來看是需要2-3級調(diào)節(jié)。
第一等級是X-Y的粗調(diào)節(jié)，精度在±2um之內(nèi)就行，第二等 ...

9 M4 `. E- t" ^8 W; m不知所云
! C9 \) d% U9 d. |

328Feng_328

愿聞其詳！

長涯

喂我袋鹽 發(fā)表于 2023-7-13 11:01
不知所云

6 T; p: \5 q7 f: Y* s& a4 C應(yīng)該是先用第一級運(yùn)動單位，比較快速并且較準(zhǔn)確的移動到制定目標(biāo)點(diǎn)附近，然后第二級超精密運(yùn)動單位精確控制檢測點(diǎn)的位置吧