Festo ISV 真空閥，內部結構是彈簧加浮子的結構。真空系統初始運行時，潔凈度較好，此時可以保證系統真空度和流量。
但運行一段時間后，環境中的雜質會導致浮子表面和密封位置表面出現粘附雜質，從而影響密封效果，進而導致系統真空度降低。

如果可以替換，建議使用PIAB的piSAVE膜片閥：



膜片閥使用時，有物料吸附情況下膜片打開，無物料吸附情況下背壓關閉膜片（系統微漏）。

可能灰塵顆粒進入到真空邏輯閥中沒有拍出，影響了性能。在吸盤未吸到產品時，真空邏輯閥會吸入空氣，積累的多了，可能就有衰減。