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機械社區

標題: 超精密加工 [打印本頁]
作者: camvinh    時間: 2017-10-10 09:43
標題: 超精密加工
本帖最后由 camvinh 于 2017-10-10 09:44 編輯 3 Y$ I, W7 Y( n$ d7 t' V
5 d6 N  Z1 ?# U: f# g4 W" p: W
我們研究室做超精密加工研究，機床加工精度達到1μm以下，表面粗糙度5-10nm，一刀就出鏡面。有興趣的朋友，可以交流交流。
# c' w! h8 g6 o& O; \
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& Q4 z$ t9 _; K7 G
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3 I* R2 N: A6 P0 Y# w$ l
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( G7 e* `5 C6 G" }7 a
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. c" {' l5 n: i, v' |6 m. s( p
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' b9 t- x1 e# A1 @( h, b
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9 i' p% y1 s/ |$ E3 i2 j
* ~$ z- Z# \/ s
* K  P+ W& o9 U1 k" h6 |6 U8 B0 h; g3 Y4 Z8 l" j; D, r+ F$ A
作者: qq707459754    時間: 2017-10-10 09:53
清華？ 牛掰
作者: leyfa7@126.com    時間: 2017-10-10 10:01
用的什么刀具？+ Z( e" M7 h% b
粗糙度和精度可以代替磨削嗎？% o4 T$ J: F, ^3 J. E
最長試驗工件是多少？9 i# C+ i% ~) f' t: u4 `. ^2 Y7 |
作者: camvinh    時間: 2017-10-10 10:02
leyfa7@126.com 發表于 2017-10-10 10:016 Y; f# G, J; b% G! y
用的什么刀具？
; Q0 Q- q& O% B粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
  X( }4 Q! y& f0 A, @5 ^& @: q最長試驗工件是多少？

4 w$ J' O0 J* ~8 ?用天然金剛石刀具，粗糙度能達到5-10nm，精度<1μm
+ m1 v6 b5 R+ w- N
作者: 喀秋莎88    時間: 2017-10-10 10:04
大理石床身，看起來高端啊。
作者: camvinh    時間: 2017-10-10 10:04
leyfa7@126.com 發表于 2017-10-10 10:01
) n( E% ?; [' A用的什么刀具？
0 [% G- ]* z! W9 n4 A# I4 O粗糙度和精度可以代替磨削嗎？1 ]9 c( N- C& H! ^7 G( j. M
最長試驗工件是多少？

' ]/ s& _; c3 E7 y2 {  P最長150mm
作者: 喀秋莎88    時間: 2017-10-10 10:08
千島2000轉手動卡盤？
作者: camvinh    時間: 2017-10-10 10:12
喀秋莎88 發表于 2017-10-10 10:081 ~$ o5 ^! S: ?% H* ^. @* P" l* \4 ?+ Z
千島2000轉手動卡盤？
" }* z/ ]/ g; k4 M- V" q% v" i
是的
作者: ﹏ˋ仰望    時間: 2017-10-10 10:14
看著很牛啊
作者: dengxiangxi    時間: 2017-10-10 10:15
超精密切削加工
5 G" t3 S5 _6 i: N主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用經過精細研磨的單晶金剛石車刀進行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、表面高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，最高精度可達0.1微米，表面粗糙度為Rz0.05微米。* X2 _6 `+ L: v- F. f9 S
超精密特種加工
& ~* Q  a. a* w/ ~加工精度以納米，甚至最終以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，切削加工方法已不能適應，需要借助特種加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的結合能，從而去除工件表面的部分原子間的附著、結合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。這些方法的特點是對表面層物質去除或添加的量可以作極細微的控制。但是要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設備和精確的控制系統，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。
作者: 所羅門_x    時間: 2017-10-10 10:16
不錯 ，在國內屬于高端機床設備了。這類機床一直是國內技術瓶頸，記得10年前公司用的坐標磨床，曲線磨床，慢絲都是進口的，國內做的精度差的老遠，這技術代溝起碼20年，現在10年過去了還是沒聽說國內能做這么精密的設備的。現在的機器人腳步跟的倒是挺緊的，看看效果也是醉了，編寫設定好的套路走流程都敢稱為智能！還登上大雅之堂了！這勇氣真是佩服!還號稱已經達到國際一流水準！其實就是人家的初級階段。
作者: camvinh    時間: 2017-10-10 10:22
所羅門_x 發表于 2017-10-10 10:16
6 w! b5 V4 C* Z1 n6 i$ P7 L不錯 ，在國內屬于高端機床設備了。這類機床一直是國內技術瓶頸，記得10年前公司用的坐標磨床，曲線磨床， ...
" g! Z  d& C; d: y# Y
機床的光柵、伺服、數控、部分電器是國外，其余都是國內，機床也是自己搭的
* q$ ]3 E  j" w
作者: 鑫森淼炎垚    時間: 2017-10-10 10:49
能實現嗎？
作者: camvinh    時間: 2017-10-10 10:51
鑫森淼炎垚 發表于 2017-10-10 10:49
( o; m# j4 |: C7 q$ T% M& u, S0 \! Y能實現嗎？

$ r: F0 q. V$ f- o9 d實現什么？- ?% x1 D  |6 A6 D; t8 e) C; b2 e
作者: camvinh    時間: 2017-10-10 10:53
所羅門_x 發表于 2017-10-10 10:16$ B) e  A4 d' d7 A) `
不錯 ，在國內屬于高端機床設備了。這類機床一直是國內技術瓶頸，記得10年前公司用的坐標磨床，曲線磨床， ...
0 O0 o% g5 ~& U
機身是國內的# X# Z! s" S7 }0 P0 @
作者: 喀秋莎88    時間: 2017-10-10 11:10
camvinh 發表于 2017-10-10 10:53
& {% Z: b/ }9 h  h/ J機身是國內的
: `# x5 g6 u- F) B
床身是青島的么/ q$ ~4 D, u" {! H
作者: 鑫森淼炎垚    時間: 2017-10-10 11:15
能實現“一刀就出鏡面”嗎？如何解決溫度、震動、刀損等的影響。
作者: 趙君度    時間: 2017-10-10 11:32
羨慕
作者: 郭向東    時間: 2017-10-10 11:36
高大上
作者: tzhero    時間: 2017-10-10 11:47
高大上羨慕
作者: LYY635432086    時間: 2017-10-10 11:52
代表中國加工行業最高技術
作者: camvinh    時間: 2017-10-10 12:52
喀秋莎88 發表于 2017-10-10 11:10- e; d) x( |, x6 Q$ F3 |4 A
床身是青島的么

  i1 A3 j( l, b機身是自己做的% \3 P, T/ r! G3 y$ C
作者: camvinh    時間: 2017-10-10 12:54
鑫森淼炎垚 發表于 2017-10-10 11:15
" H; O% A. S2 z- N能實現“一刀就出鏡面”嗎？如何解決溫度、震動、刀損等的影響。
* h0 E" U  K- a  b8 c6 s" N/ o$ Z
是的，一刀出鏡面，這機床用氣浮和大理石所以隔震效果很好，金剛石刀具切銅、鋁不磨損! c3 Z  l% H/ _! c
作者: 月光狼人    時間: 2017-10-10 14:52
膜拜   
" b, s! R5 N% j7 A3 R9 |; s5 U
作者: 宋仲龍    時間: 2017-10-10 15:22
應該是專用機床，車削拋物面反射鏡。這是你們的試驗還是要做產品？
作者: camvinh    時間: 2017-10-10 15:26
宋仲龍 發表于 2017-10-10 15:22( `# g) N3 S& B9 m
應該是專用機床，車削拋物面反射鏡。這是你們的試驗還是要做產品？

' g" f/ v! i% g0 n: k用來做實驗，也用來接活
; D( A' A. J& Y4 a7 [# z
作者: 湘湖旁邊    時間: 2017-10-10 15:26
長見識了
作者: 宋仲龍    時間: 2017-10-10 16:01
camvinh 發表于 2017-10-10 15:26
8 p+ ^" N4 r$ C% J用來做實驗，也用來接活

. |' w6 O# w/ E8 _鋁基的直徑和反射焦距各半寸，得花費多少銀兩。你們用學校的公帑搞私活，有想法。6 V- j5 }% j/ M, p( \3 |
作者: 獨自莫憑欄    時間: 2017-10-10 16:48
LZ的工作和清華大學IC裝備精密機械與測控技術研究中心的光刻機在技術上有什么相似之處么？
作者: xiaobing86203    時間: 2017-10-10 17:49
做做試驗不算什么，批量生產才是真得牛
作者: 喂我袋鹽    時間: 2017-10-10 21:14
xiaobing86203 發表于 2017-10-10 17:49
6 q* d5 F1 R* G$ O( W) R! O0 h1 k做做試驗不算什么，批量生產才是真得牛
7 \: C; u0 T1 o& M
精辟！換下的刀，給個低價，打包長年收購，哈哈！
" q3 }2 h; c9 Q! i( t  y$ g0 y
作者: 喂我袋鹽    時間: 2017-10-10 21:16
camvinh 發表于 2017-10-10 10:02$ Q+ l1 d8 c2 Y7 c" N3 P; o* J
用天然金剛石刀具，粗糙度能達到5-10nm，精度

" d& l5 j  {4 @牛牛！2 b3 r' w, X+ @
9 O: |/ o! \1 O4 |2 I& v
PCD，PVD試過能達到什么水平？
: k0 h- ?0 t; k4 t: v  ~5 `" x' ^9 D+ j* Y1 Y. u
作者: 無應力夾具    時間: 2017-10-11 10:21
配合我們的無應力固定就更牛了
" u. d$ d0 W% ^
作者: camvinh    時間: 2017-10-11 11:25
喂我袋鹽 發表于 2017-10-10 21:16
& L4 F; A/ i$ b/ M; K牛牛！; o( ^  K0 _( E* z" P

' v5 r% |- P6 C0 ?; ~PCD，PVD試過能達到什么水平？

2 k1 f7 |4 ?3 r/ u不行，PCD刃磨半徑不行
作者: camvinh    時間: 2017-10-11 11:26
宋仲龍 發表于 2017-10-10 16:01
2 t% m% q" {7 U: m1 ^" {; r鋁基的直徑和反射焦距各半寸，得花費多少銀兩。你們用學校的公帑搞私活，有想法。

) R/ Y( ~& U9 N3 Z- t" o不是私活，收的費用全部用在科研里
0 V% _7 o9 ~, J
作者: camvinh    時間: 2017-10-11 11:27
獨自莫憑欄 發表于 2017-10-10 16:485 P/ ?' }9 }9 _
LZ的工作和清華大學IC裝備精密機械與測控技術研究中心的光刻機在技術上有什么相似之處么？
, o& O! V; ?* T6 N( w
不了解
6 l& l# _* V1 d5 e; _
作者: camvinh    時間: 2017-10-11 11:27
無應力夾具 發表于 2017-10-11 10:21# M6 D( w( D1 \2 k* U3 p( v7 M$ v
配合我們的無應力固定就更牛了

3 S, P" Y* c7 E. k1 F上圖看看
! H5 B, c% Y" T4 b
作者: 無應力夾具    時間: 2017-10-11 12:35
camvinh 發表于 2017-10-11 11:27( K: S0 c: m. p
上圖看看
) x9 T8 C7 }3 M% E+ M
[attach]435304[/attach]
作者: camvinh    時間: 2017-10-11 12:50
無應力夾具 發表于 2017-10-11 12:35

3 k" V# z; K$ H+ [" w; z是什么牌子啊？
. u0 C' v1 \% R- L0 g5 W
作者: camvinh    時間: 2017-10-11 14:22
無應力夾具 發表于 2017-10-11 12:35
, D, k2 s: q* e
是叫冰凍盤嗎？剛載網上了解，這技術挺厲害的，這個要多少錢？
作者: 孟梓666    時間: 2017-10-11 15:46
長見識了！
作者: 藍色格    時間: 2017-10-13 14:19
厲害了
作者: 山吹    時間: 2017-10-14 10:27
牛2 a' _+ n7 y+ W/ t
什么材料？
作者: 愛吃板栗的小云    時間: 2017-10-17 14:06
現在的大理石床身和礦物鑄造吸震性能很好
作者: ywjianghu    時間: 2017-10-21 15:52
無應力夾具 發表于 2017-10-11 10:21" V) }9 O  R4 l. p
配合我們的無應力固定就更牛了

1 _, g1 }, H1 a' e8 W! Z* G 介紹一下你的夾具呢。技術含量高的軟廣告，在機械社區不但不扣分，相反有加分呢。
% A- D9 v3 r% K0 @5 ~; O, ?" ~& C" @& f6 W- m' ~! P' M
作者: ywjianghu    時間: 2017-10-21 15:57
樓主能否介紹一下運動模組呢？
- G" v9 L1 E) v: o6 m8 \9 y% G% v譬如，靜壓還是氣浮，滑塊什么形式，導軌什么形式，絲杠還是直線電機。等等。6 p3 ]; y0 n% t5 K7 n  ~" v
謝謝！
作者: zzzz0000    時間: 2017-10-21 17:01
吹氣干切削加工嗎，能提供加工參數參考一下嗎
作者: 拖拉機ww    時間: 2017-10-22 10:48
水在凝固時，體積不是會膨脹嗎？
作者: 藍天心    時間: 2017-10-22 11:52
你這個機床，如果車個球，面輪廓度能到多少？4 f0 Z4 g$ x9 T  x" w* L0 M8 s
作者: 無應力夾具    時間: 2017-10-22 19:22
拖拉機ww 發表于 2017-10-22 10:48
8 g' z4 s) U0 N' [1 f- L9 R7 ]水在凝固時，體積不是會膨脹嗎？

6 p, d5 O8 t* B' o. A( `8 e$ y[attach]436331[/attach]- n+ N7 X, p6 l' M  s/ {! D
作者: camvinh    時間: 2017-10-23 09:47
ywjianghu 發表于 2017-10-21 15:57
$ ~0 h2 ~) |$ w2 p" y. _樓主能否介紹一下運動模組呢？
2 b) o/ R8 |/ a5 ]5 N譬如，靜壓還是氣浮，滑塊什么形式，導軌什么形式，絲杠還是直線電機。等等 ...
1 R+ C( X$ N: E! n0 r; R- l
氣浮導軌，直線電機
' y( J% L. |" U; x2 ?; N+ \" |
作者: camvinh    時間: 2017-10-23 09:52
藍天心 發表于 2017-10-22 11:525 q) O  p2 r" H1 d
你這個機床，如果車個球，面輪廓度能到多少？

2 Q1 y3 [" f: d3 }  ^我們這機床有B旋轉軸，可以用旋轉軸直接加工圓球不用插補。我們B軸對刀的精度也很高，尺寸誤差小于1μm，你可以看我們發表的《超精密數控機床B旋轉軸的可量化對刀方法》0 E, y0 ?; ]: I: o
作者: 科技的瘋狂    時間: 2017-11-2 15:16
看著好神奇
作者: 羊咪咪    時間: 2017-11-6 15:23
牛，學習。. O  e5 R0 W4 O6 ]6 a* G1 a
作者: Garfield-Zhang    時間: 2017-11-8 17:46
你好！請問你們可以在金屬表面加工小于1mm的通道嗎？我們急需這樣的加工。
: l3 j+ y$ u4 D. D
作者: 小劉jg    時間: 2017-11-8 22:00
樓主，你好你這主軸是你們自己制作的嗎，我們公司常年加工青銅軸套（月產量40萬只），特別需要這樣的機床。8 D/ A) l/ |+ M3 i3 w% R7 L6 ?; A
作者: camvinh    時間: 2017-11-9 11:37
Garfield-Zhang 發表于 2017-11-8 17:46; t% i9 {4 Z! H
你好！請問你們可以在金屬表面加工小于1mm的通道嗎？我們急需這樣的加工。
  p8 M$ L* m. S" m# p1 w, H6 u
你好！可以的，我們有微細電火花加工機床，可以加工，加我微信 yjr824
作者: camvinh    時間: 2017-11-9 11:38
小劉jg 發表于 2017-11-8 22:00, h* C) P2 B& O" c
樓主，你好你這主軸是你們自己制作的嗎，我們公司常年加工青銅軸套（月產量40萬只），特別需要這樣的機床。 ...

  L* y6 N& V/ g是的，我們和外企一起合作做的，加我微信詳談 yjr824
, }& d, W  D' D3 S% L* Z' j
作者: 明天，_wlt25    時間: 2017-11-13 10:48
不便宜吶，高精尖
作者: wx_dnnbAEnQ    時間: 2017-11-29 13:02
牛叉
作者: yangyang178    時間: 2017-11-29 13:37
只能在實驗室看看了，常規行業不敢用
作者: camvinh    時間: 2017-11-29 14:10
yangyang178 發表于 2017-11-29 13:374 g, z1 z) B: z2 L+ W$ E. _
只能在實驗室看看了，常規行業不敢用

/ ?* \5 E0 \. V8 v要加工可以聯系我喔8 B2 l) B9 u5 y. i" ~% L" }$ {' P
作者: fangyd    時間: 2017-12-5 13:27
本帖最后由 fangyd 于 2017-12-5 13:34 編輯
) F7 x$ S3 a; R' `. A3 u* m, k0 e
2 e; X( |5 }6 P$ C% `5 R8 R5 f怎么聯系你啊？
作者: 宋小科95    時間: 2017-12-5 14:24
作者: camvinh    時間: 2017-12-5 14:44
fangyd 發表于 2017-12-5 13:27: H5 _  O# Z5 K  z- Z+ V
怎么聯系你啊？
6 V" m7 u$ B% K4 }% r6 y# a$ A: S7 C& N
加我的微信 yjr824- r. f+ b: ]6 R5 |4 U
作者: zidaneyc    時間: 2017-12-5 15:45
學習
作者: 海普超精張燕    時間: 2019-3-27 14:56
我們公司-北京海普瑞森超精密技術有限公司，自主研制的超精密單點金剛石車床就能滿足這種使用，而且批量化產品，非實驗室階段哦，歡迎朋友們來電咨詢。我的電話是18910106210。$ Q. b0 a; F/ f* ]
我們單點車加工的元件表面粗糙度可達納米級，口徑最大可達到350mm，可加工各種高精度平面、球面、非球面及離軸元件和自由曲面元件。可加工銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹脂、PMMA等材料。在三軸聯動模式下還可加工離軸元件、柱面、子午面等非回轉對稱元件和自由曲面，配以特殊刀具可以實現微結構元件的加工，如各種衍射元件和菲涅爾透鏡等。
作者: 王光軍    時間: 2019-3-27 17:25
真牛，非常佩服' F9 n2 t' I4 j& l




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