光伏電池硅片的生產過程主要如下:
7 \ D0 r& j) U0 a8 x# O) J* i一次清洗,即擴散前清洗。主要通過NaOH.HF,HCL等對硅片進行腐蝕處理,完成去損傷層、制絨,去硅酸鈉,去金屬離子等工藝。
( O( y. L$ h- I; ~擴散。在高溫石英爐管內對硅片進行二次清洗前處理。
周邊刻蝕。在工藝室內的一定條件下是硅片的電壓達到允許值。
二次清洗,即擴散后清洗。主要完成去磷硅玻璃、漂洗、噴淋、慢拉、烘干等工藝要求。
8 a' V# L2 L( n2 nPECVD。在真空和高溫條件下,對硅片去除水分和空氣后鍍膜。
! _4 k# C8 Z, V3 }絲網印刷。對背電極進行印刷、烘干。
燒結或固化。
測試。
* `6 @/ U, G$ ]) I$ j& |以上工序基本完成了電池硅片的處理過程,再經過焊接接線,組合裝配等配套過程后,電池就可應用。
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