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標題: 一個用于半導體行業(yè)的清洗方案，社友幫我看看可行嗎 [打印本頁]

作者: 丹楓911 時間: 2014-5-25 21:15
標題: 一個用于半導體行業(yè)的清洗方案，社友幫我看看可行嗎
一個用于半導體行業(yè)的清洗方案，用來清洗晶圓片，用高壓水清洗，伺服電機帶動晶圓片旋轉，1000多轉每分鐘，晶圓片真空吸附，大家看看主軸旋轉這個結構怎么樣，基準板是焊接到機架上的，打算焊接后再加工一刀。

作者: 迷茫的維修 時間: 2014-5-25 21:19
沒看清，感覺類似立車的主軸
你參考一下
再有就是，你想得到什么樣的精度
選什么樣的軸承
端跳，經(jīng)跳
需要考慮什么工況，盤子會不會飄？
純屬瞎猜

作者: 走路empty 時間: 2014-5-25 23:04
藍寶石？
可以參考涂膠機清洗結構

作者: 亂試佳人 時間: 2014-5-26 08:31
我看錯了，我以為你要清洗這個行業(yè)呢！

作者: 八點半 時間: 2014-5-26 10:47
就一個普通轉臺就行啊，也不需要太大的精度吧！

作者: 丹楓911 時間: 2014-5-26 22:54

八點半發(fā)表于 2014-5-26 10:47
就一個普通轉臺就行啊，也不需要太大的精度吧！

精度要求不高，主要動平衡要好，還有真空吸附要效果好

作者: 沉睡的紅楓葉 時間: 2014-5-27 22:14
值得學習

作者: desa2002 時間: 2014-5-28 08:29
學習

作者: 我很愛機械設計 時間: 2014-5-28 09:21
路過學習～

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