
當?shù)貢r間3月8日,荷蘭出手了,宣布計劃對半導體技術(shù)出口實施新的管制。
這一消息源于荷蘭外貿(mào)與發(fā)展合作大臣Liesje Schreinemacher致荷蘭議員的一封信,其中寫道:
“鑒于技術(shù)發(fā)展和地緣政治背景,政府得出結(jié)論,為了國家安全,有必要擴大對特定半導體制造設備的現(xiàn)有出口限制。”
信中還提到,荷蘭方面將建立國家出口管制清單,管制措施也將在今年夏天之前開始實施。
可以注意到,致信中并沒有直接點名ASML、光刻機和中國,但聯(lián)想到1月份美日荷三方于白宮會面商討出口限制一事,以及達成的那份沒有公布細節(jié)的協(xié)議,本次荷蘭出手的緣故顯而易見。
而就在之后接受媒體采訪時,Schreinemacher也表示,新禁令下還是有許多更低端的設備可以銷往中國,無需取得許可,包括制造汽車、冰箱、電話和風力發(fā)電機所需芯片的設備。
荷蘭宣告出手限制出口的第二天,光刻機龍頭ASML也做出了自己的回應。
事實上,自2019年以來,ASML的EUV設備就被禁止出口中國大陸。這一次的焦點,在于DUV設備,其主要用于生產(chǎn)28nm及更成熟制程的芯片,通過多次曝光,也是可以實現(xiàn)7nm制程的。

在聲明中,ASML先是表明荷蘭政府的措施不會對公司2023年的財務產(chǎn)生重大影響。隨后稱,最新出口管制并不適用于所有的浸沒式光刻工具,而是僅適用于“最先進”工具。
至于“最先進”的具體定義,荷蘭政府方面尚沒有給出確切的消息。不過ASML給出了自己的解釋——關(guān)鍵的浸沒式系統(tǒng),即TWINSCAN NXT:2000i和后續(xù)推出的浸沒式系統(tǒng)。
ASML官網(wǎng)顯示,其浸沒式DUV設備目前主要有3款產(chǎn)品,分別是TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:1980Di。其中依照ASML對“最先進”的理解,NXT:2050i和NXT:2000i將受到此次出口限制影響,NXT:1980Di則不受影響。

據(jù)悉,NXT:1980Di 的分辨率可以達到≤38nm,每小時可以生產(chǎn)275片晶圓,當前主要被用于45nm以下成熟制程的生產(chǎn)。
依據(jù)ASML在聲明中所言,主要關(guān)注成熟制程的客戶,使用不太先進的浸沒式光刻工具也能夠得到很好的服務。
當前的光刻機市場,ASML與尼康、佳能一起拿下超過90%的市場份額。其中,ASML主要著眼于高端市場,也是全球唯一的EUV光刻機供應商,尼康和佳能則聚焦中低端市場。
自然而然的,這個被稱作“半導體工業(yè)皇冠上明珠”的領(lǐng)域,也被美國視作技術(shù)封鎖,尤其是芯片相關(guān)技術(shù)封鎖的重要一環(huán)。
事實上,自2018年來,美國就已經(jīng)開始向荷蘭政府施壓,要求其撤銷ASML向中國出口EUV光刻機的許可。它也做到了,自2019年開始ASML EUV設備的銷售就受到了限制。
而現(xiàn)在,輪到了DUV設備。

今年1月份,外媒報道稱荷蘭首相Mark Rutte會見美國總統(tǒng)拜登時,雙方就ASML向中國銷售DUV設備可能實施的出口限制問題進行了討論,并于27日達成了一項協(xié)議。
直到現(xiàn)在,三方都沒有就這份協(xié)議進行公開或討論,但荷蘭此次宣布的出口限制,也讓外界對這份協(xié)議有了一番猜測。
值得注意的是,彼時在白宮與美國政府商討事宜的還有日本,后者在半導體材料和設備全球市場中同樣保持領(lǐng)先。有數(shù)據(jù)統(tǒng)計稱,日本企業(yè)在全球半導體設備市場的份額為35%,在全球半導體原材料市場的份額為52%。
就在荷蘭宣布計劃對半導體技術(shù)出口實施新管制之后不久,也有消息稱日本最快將于本周發(fā)布最新芯片設備出口政策。對比荷蘭此次的做法,預計日本也將在很大程度上遵循美國的腳步。針對中國的半導體技術(shù)限制正一步步增強。
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